Физика тонких плёнок: современное состояние исследований и технические применения (в 8 томах)

Многотомный справочный труд «Физика тонких плёнок» посвящён фундаментальным явлениям в конденсированных слоях и практическим технологиям их получения и применения. Книга ориентирована на читателей, которым важны не только общие представления о тонкопленочных системах, но и конкретные методы формирования плёнок, измерения их свойств и расчётные подходы для инженерных задач. Это издание переведено с английского и опубликовано под общей редакцией Хасса; в тексте указаны годы выпуска «1967–1978». Материал охватывает полный цикл: от аппаратуры и режимов осаждения в сверхвысоком вакууме до анализа структуры, оптических констант, механических свойств и целевых применений в оптике, электронике и термоинженерии.

Структура и содержание распределены по восьми томам, каждый из которых фокусируется на ключевой области тонкоплёночной физики. Том 1 рассматривает оборудование для испарения материалов в сверхвысоком вакууме и методы анализа остаточных газов, а также теорию и способы расчёта свойств тонких плёнок. Отдельно уделено внимание изготовлению и исследованию отражающих покрытий для вакуумного ультрафиолетового излучения и теме структуры тонких плёнок, включая магнитные плёнки из железоникелевых сплавов.

Том 2 посвящён явлениям структурного разупорядочения в тонких металлических плёнках, а также практическим и измерительным аспектам: плёночному полевому триоду с изолированным затвором, измерению оптических констант тонких плёнок, просветляющим покрытиям для видимой и инфракрасной областей спектра, поглощению солнечного излучения и тепловому излучению напыленных покрытий. В этом же томе рассматриваются теплоконечные элементы и схемы.

Том 3 охватывает методы контроля и измерения толщины плёнок и способы получения однородных по толщине слоёв. Подробно описаны нанесение тонких плёнок катодным распылением, нанесение диэлектрических плёнок из газовой фазы, а также методы активации и рекристаллизации плёнок соединений AIIBVI. Отдельным блоком представлены механические свойства конденсированных плёнок и детекторы на основе солей свинца.

Том 4 включает вопросы прецизионных измерений в оптике тонких плёнок, формирование зародышей при кристаллизации тонких плёнок и получение монокристаллических плёнок при испарении в вакууме. Заканчивается блоком, относящимся к структуре и росту плёнок.

Эта книга будет полезна исследователям, инженерам и студентам, работающим с вакуумными технологиями осаждения, оптическими покрытиями, полупроводниковыми/диэлектрическими системами, а также тем, кому нужны систематизированные знания о структуре, измерениях и практических применениях тонких плёнок. Издание оформлено как издательский переплёт и указано как «обычный формат».

Отзывы покупателей